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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2016年 出願公開件数ランキング    第7297位 2件 下降2015年:第2742位 7件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第1645位 12件 下降2015年:第1611位 11件)

(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2016-539356 偏光非依存干渉計 2016年12月15日
特開 2016-212363 リソグラフィ装置のレチクル冷却システム 2016年12月15日
特開 2016-177244 リソグラフィ装置における加熱システムおよび冷却システム 2016年10月 6日
特開 2016-153918 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2016年 8月25日
特表 2016-509258 リソグラフィ装置及び方法 2016年 3月24日
特表 2016-508236 レチクルステージ環境におけるガス流れ最適化 2016年 3月17日

6 件中 1-6 件を表示

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2016-539356 2016-212363 2016-177244 2016-153918 2016-509258 2016-508236

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