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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2021年 出願公開件数ランキング    第3677位 5件 下降2020年:第2497位 8件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第2016位 8件 下降2020年:第1660位 10件)

(ランキング更新日:2026年2月5日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2021-535419 コンパクトなアライメントセンサ配置 2021年12月16日
特表 2021-522538 高安定コリメータアセンブリ、リソグラフィ装置及び方法 2021年 8月30日
特表 2021-518585 非線形光学系を有する検査装置 2021年 8月 2日
特開 2021-105740 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2021年 7月26日
特表 2021-513214 リソグラフィ装置におけるインシチュ粒子除去のための装置及び方法 2021年 5月20日
特表 2021-510847 スキャン信号の特徴診断 2021年 4月30日
特表 2021-507275 リソグラフィ装置で使用するための基板ホルダ 2021年 2月22日
特表 2021-507302 定められたバールトップトポグラフィを有するリソグラフィサポート 2021年 2月22日
特表 2021-505927 ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 2021年 2月18日
特表 2021-501353 半導体フォトリソグラフィで使用するためのアセンブリ及び同一のものを製造する方法 2021年 1月14日
特表 2021-500596 リソグラフィアプリケーション内でオブジェクトを保持するための改変された表面トポグラフィを伴うバール 2021年 1月 7日

11 件中 1-11 件を表示

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2021-535419 2021-522538 2021-518585 2021-105740 2021-513214 2021-510847 2021-507275 2021-507302 2021-505927 2021-501353 2021-500596

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