株式会社荏原製作所
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第200位 230件
（
2014年：第223位 204件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第329位 83件
（2014年：第333位 116件）
（ランキング更新日：2026年10月19日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5663295 | 研磨装置、研磨方法、研磨具を押圧する押圧部材 | 2015年 2月 4日 | |
| 特許 5662992 | 試料表面検査方法及び検査装置 | 2015年 2月 4日 | |
| 特許 5662039 | 試料観察方法、試料検査方法、および試料観察装置 | 2015年 1月28日 | |
| 特許 5661564 | 洗浄性能予測方法及び基板洗浄方法 | 2015年 1月28日 | |
| 特許 5661249 | 排ガス処理システム及びその運転方法 | 2015年 1月28日 | |
| 特許 5654075 | 基板洗浄装置 | 2015年 1月14日 | |
| 特許 5653743 | 金属膜形成方法および装置 | 2015年 1月14日 | |
| 特許 5649417 | 固定砥粒を有する研磨テープを用いた基板の研磨方法 | 2015年 1月 7日 | |
| 特許 5650429 | 回転電機 | 2015年 1月 7日 |
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5663295 5662992 5662039 5661564 5661249 5654075 5653743 5649417 5650429
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