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株式会社荏原製作所

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  2015年 出願公開件数ランキング    第206位 233件 上昇2014年:第223位 204件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第329位 83件 上昇2014年:第333位 116件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5662992 試料表面検査方法及び検査装置 2015年 2月 4日
特許 5663295 研磨装置、研磨方法、研磨具を押圧する押圧部材 2015年 2月 4日
特許 5661249 排ガス処理システム及びその運転方法 2015年 1月28日
特許 5661564 洗浄性能予測方法及び基板洗浄方法 2015年 1月28日
特許 5662039 試料観察方法、試料検査方法、および試料観察装置 2015年 1月28日
特許 5653743 金属膜形成方法および装置 2015年 1月14日
特許 5654075 基板洗浄装置 2015年 1月14日
特許 5649417 固定砥粒を有する研磨テープを用いた基板の研磨方法 2015年 1月 7日
特許 5650429 回転電機 2015年 1月 7日

84 件中 76-84 件を表示

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5662992 5663295 5661249 5661564 5662039 5653743 5654075 5649417 5650429

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