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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第200位 230件
(
2014年:第223位 204件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第329位 83件
(
2014年:第333位 116件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5763243 | めっき装置 | 2015年 8月12日 | |
| 特許 5758436 | 給水装置 | 2015年 8月 5日 | |
| 特許 5752879 | 回転機械 | 2015年 7月22日 | |
| 特許 5751955 | 輪切形多段ポンプ | 2015年 7月22日 | |
| 特許 5750327 | めっき装置、めっき処理方法及びめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法 | 2015年 7月22日 | |
| 特許 5750147 | 検出装置及び検査装置 | 2015年 7月15日 | |
| 特許 5749302 | めっき方法 | 2015年 7月15日 | |
| 特許 5744382 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2015年 7月 8日 | |
| 特許 5744248 | 試料観察方法 | 2015年 7月 8日 | |
| 特許 5735904 | ポンプシステムおよび該ポンプシステムの運転方法 | 2015年 6月17日 | |
| 特許 5736438 | 給水装置 | 2015年 6月17日 | |
| 特許 5736003 | ウェハを吸着保持する静電チャック | 2015年 6月17日 | |
| 特許 5730747 | 渦電流センサ並びに研磨方法および装置 | 2015年 6月10日 | |
| 特許 5728239 | 研磨監視方法、研磨方法、研磨監視装置、および研磨装置 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5727881 | 輪切形多段ポンプ | 2015年 6月 3日 |
84 件中 31-45 件を表示
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5763243 5758436 5752879 5751955 5750327 5750147 5749302 5744382 5744248 5735904 5736438 5736003 5730747 5728239 5727881
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