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株式会社荏原製作所

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  2015年 出願公開件数ランキング    第206位 233件 上昇2014年:第223位 204件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第329位 83件 上昇2014年:第333位 116件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5763243 めっき装置 2015年 8月12日
特許 5758436 給水装置 2015年 8月 5日
特許 5750327 めっき装置、めっき処理方法及びめっき装置用基板ホルダの姿勢変換方法 2015年 7月22日
特許 5751955 輪切形多段ポンプ 2015年 7月22日
特許 5752879 回転機械 2015年 7月22日
特許 5749302 めっき方法 2015年 7月15日
特許 5750147 検出装置及び検査装置 2015年 7月15日
特許 5744248 試料観察方法 2015年 7月 8日
特許 5744382 基板処理装置および基板処理方法 2015年 7月 8日
特許 5735904 ポンプシステムおよび該ポンプシステムの運転方法 2015年 6月17日
特許 5736003 ウェハを吸着保持する静電チャック 2015年 6月17日
特許 5736438 給水装置 2015年 6月17日
特許 5730747 渦電流センサ並びに研磨方法および装置 2015年 6月10日
特許 5726671 基板処理装置 2015年 6月 3日
特許 5726921 めっき装置 2015年 6月 3日

84 件中 31-45 件を表示

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5763243 5758436 5750327 5751955 5752879 5749302 5750147 5744248 5744382 5735904 5736003 5736438 5730747 5726671 5726921

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