株式会社荏原製作所
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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第223位 175件
（
2015年：第200位 230件）
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第254位 129件
（
2015年：第329位 83件）
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6042178 | 真空ポンプユニット、及び真空ステーション | 2016年12月14日 | |
| 特許 6040092 | 基板めっき装置及び基板めっき方法 | 2016年12月 7日 | |
| 特許 6034717 | ドレッサの研磨部材上の摺動距離分布の取得方法、ドレッサの研磨部材上の摺動ベクトル分布の取得方法、および研磨装置 | 2016年11月30日 | |
| 特許 6033751 | 研磨方法 | 2016年11月30日 | |
| 特許 6030720 | 研磨装置および方法 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6029975 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6030041 | 研磨装置および研磨方法 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6030379 | シール構造及びこれを備えた真空ポンプ用モータ並びに真空ポンプ | 2016年11月24日 | |
| 特許 6030384 | ポンプ制御装置 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6031426 | 研磨装置及び研磨方法 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6031560 | 化学機械研磨装置 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6030980 | 研磨装置温度制御システム、及び研磨装置 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6026133 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 | 2016年11月16日 | |
| 特許 6027454 | 研磨装置 | 2016年11月16日 | |
| 特許 6025055 | 研磨パッドの表面性状測定方法 | 2016年11月16日 |
129 件中 16-30 件を表示
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6042178 6040092 6034717 6033751 6030720 6029975 6030041 6030379 6030384 6031426 6031560 6030980 6026133 6027454 6025055
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