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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6042180 真空ステーション 2016年12月14日
特許 6040092 基板めっき装置及び基板めっき方法 2016年12月 7日
特許 6033751 研磨方法 2016年11月30日
特許 6034717 ドレッサの研磨部材上の摺動距離分布の取得方法、ドレッサの研磨部材上の摺動ベクトル分布の取得方法、および研磨装置 2016年11月30日
特許 6029975 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2016年11月24日
特許 6030041 研磨装置および研磨方法 2016年11月24日
特許 6030379 シール構造及びこれを備えた真空ポンプ用モータ並びに真空ポンプ 2016年11月24日
特許 6030384 ポンプ制御装置 2016年11月24日
特許 6030720 研磨装置および方法 2016年11月24日
特許 6030980 研磨装置温度制御システム、及び研磨装置 2016年11月24日
特許 6031426 研磨装置及び研磨方法 2016年11月24日
特許 6031560 化学機械研磨装置 2016年11月24日
特許 6025055 研磨パッドの表面性状測定方法 2016年11月16日
特許 6026133 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 2016年11月16日
特許 6026438 インデューサ 2016年11月16日

129 件中 16-30 件を表示

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6042180 6040092 6033751 6034717 6029975 6030041 6030379 6030384 6030720 6030980 6031426 6031560 6025055 6026133 6026438

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