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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5914365 給水装置 2016年 5月11日
特許 5911786 研磨装置 2016年 4月27日
特許 5911792 研磨方法 2016年 4月27日
特許 5909392 すべり軸受装置 2016年 4月26日
特許 5909395 真空ステーション 2016年 4月26日
特許 5904875 ワークを搬送する装置のための可動範囲調整機構 2016年 4月20日
特許 5905359 圧力制御装置および該圧力制御装置を備えた研磨装置 2016年 4月20日
特許 5902019 温度制御機能を具備する真空吸引による排水収集装置及び排水収集方法 2016年 4月13日
特許 5902526 真空ステーション 2016年 4月13日
特許 5902532 電力変換装置 2016年 4月13日
特許 5903034 基板保持装置および該基板保持装置を備えた研磨装置 2016年 4月13日
特許 5898052 基板保持装置および研磨装置 2016年 4月 6日
特許 5898420 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 2016年 4月 6日
特許 5894642 検出装置及び検査装置 2016年 3月30日
特許 5894833 渦電流センサ並びに研磨方法および装置 2016年 3月30日

129 件中 91-105 件を表示

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5914365 5911786 5911792 5909392 5909395 5904875 5905359 5902019 5902526 5902532 5903034 5898052 5898420 5894642 5894833

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