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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5952616 真空ポンプ装置 2016年 7月13日
特許 5946350 加圧浮上装置 2016年 7月 6日
特許 5948199 研磨方法 2016年 7月 6日
特許 5944713 固定子の製造方法 2016年 7月 5日
特許 5940824 基板洗浄方法 2016年 6月29日
特許 5941763 研磨方法 2016年 6月29日
特許 5932330 液飛散防止カップ及び該カップを備えた基板処理装置 2016年 6月 8日
特許 5927223 半導体製造装置エンジニアリングシステム 2016年 6月 1日
特許 5927083 ドレッシングプロセスの監視方法および研磨装置 2016年 5月25日
特許 5927129 研磨装置 2016年 5月25日
特許 5922965 基板保持装置、研磨装置、および研磨方法 2016年 5月24日
特許 5917500 三方弁及び給水装置 2016年 5月18日
特許 5918406 ドライ真空ポンプ装置およびその制御方法 2016年 5月18日
特許 5918744 潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法 2016年 5月18日
特許 5919157 ドレッサー 2016年 5月18日

129 件中 76-90 件を表示

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5952616 5946350 5948199 5944713 5940824 5941763 5932330 5927223 5927083 5927129 5922965 5917500 5918406 5918744 5919157

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