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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第233位 176件
(2015年:第206位 233件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第254位 129件
(2015年:第329位 83件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6027454 | 研磨装置 | 2016年11月16日 | |
特許 6022836 | めっき装置及び基板ホルダ洗浄方法 | 2016年11月 9日 | |
特許 6022922 | Sn合金めっき装置及び方法 | 2016年11月 9日 | |
特許 6017902 | 検査装置 | 2016年11月 2日 | |
特許 6018404 | 基板処理装置 | 2016年11月 2日 | |
特許 6018483 | ポンプシステム | 2016年11月 2日 | |
特許 6018656 | 研磨装置および研磨方法 | 2016年11月 2日 | |
特許 6018961 | めっき装置およびめっき方法 | 2016年11月 2日 | |
特許 6013824 | ワーク搬送装置 | 2016年10月25日 | |
特許 6013849 | 研磨方法 | 2016年10月25日 | |
特許 6009193 | 真空排気装置 | 2016年10月19日 | |
特許 6009959 | 研磨装置に使用される液体の流量制御装置 | 2016年10月19日 | |
特許 6010100 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年10月19日 | |
特許 6010466 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 | 2016年10月19日 | |
特許 6010511 | 研磨パッドの表面粗さ測定方法 | 2016年10月19日 |
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6027454 6022836 6022922 6017902 6018404 6018483 6018656 6018961 6013824 6013849 6009193 6009959 6010100 6010466 6010511
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