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株式会社荏原製作所

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 ■ 2016年 出願公開件数ランキング    第223位 175件 (下降2015年:第200位 230件)

 ■ 2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 (上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6025055 研磨パッドの表面性状測定方法 2016年11月16日
特許 6022922 Sn合金めっき装置及び方法 2016年11月 9日
特許 6022836 めっき装置及び基板ホルダ洗浄方法 2016年11月 9日
特許 6018961 めっき装置およびめっき方法 2016年11月 2日
特許 6018656 研磨装置および研磨方法 2016年11月 2日
特許 6018483 ポンプシステム 2016年11月 2日
特許 6018404 基板処理装置 2016年11月 2日
特許 6017902 検査装置 2016年11月 2日
特許 6013849 研磨方法 2016年10月25日
特許 6013824 ワーク搬送装置 2016年10月25日
特許 6010511 研磨パッドの表面粗さ測定方法 2016年10月19日
特許 6009193 真空排気装置 2016年10月19日
特許 6009959 研磨装置に使用される液体の流量制御装置 2016年10月19日
特許 6010466 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 2016年10月19日
特許 6010100 基板処理装置および基板処理方法 2016年10月19日

129 件中 31-45 件を表示

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6025055 6022922 6022836 6018961 6018656 6018483 6018404 6017902 6013849 6013824 6010511 6009193 6009959 6010466 6010100

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