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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6239893 ウェット処理装置及びこれを備えた基板処理装置 2017年11月29日
特許 6239969 排水構造および基板処理装置 2017年11月29日
特許 6240229 真空ポンプ 2017年11月29日
特許 6234325 圧力校正用治具、及び、基板処理装置 2017年11月22日
特許 6232195 試料検査装置及び試料の検査方法 2017年11月15日
特許 6232295 研磨装置 2017年11月15日
特許 6232297 基板保持装置および研磨装置 2017年11月15日
特許 6232515 基板保持装置 2017年11月15日
特許 6227262 表面電位測定装置および表面電位測定方法 2017年11月 8日
特許 6227821 研磨装置、及び研磨方法 2017年11月 8日
特許 6227895 基板処理装置 2017年11月 8日
特許 6223199 めっき装置およびめっき方法 2017年11月 1日
特許 6223873 研磨装置及び研磨方法 2017年11月 1日
特許 6224974 基板洗浄機、基板洗浄装置、洗浄済基板の製造方法及び基板処理装置 2017年11月 1日
特許 6225088 研磨方法および研磨装置 2017年11月 1日

178 件中 16-30 件を表示

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6239893 6239969 6240229 6234325 6232195 6232295 6232297 6232515 6227262 6227821 6227895 6223199 6223873 6224974 6225088

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