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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6185284 ポンプ設備 2017年 8月23日
特許 6185737 自吸式ポンプの運転装置、液体供給装置、及び自吸式ポンプの運転方法 2017年 8月23日
特許 6186366 給水装置 2017年 8月23日
特許 6180811 基板処理装置 2017年 8月16日
特許 6180875 排気流量制御装置及びこれを備えた基板処理装置 2017年 8月16日
特許 6181438 基板保持装置および基板洗浄装置 2017年 8月16日
特許 6181622 研磨装置および研磨方法 2017年 8月16日
特許 6182016 検査装置および検査用画像データの生成方法 2017年 8月16日
特許 6182347 基板処理装置 2017年 8月16日
特許 6178019 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2017年 8月 9日
特許 6178092 ステージ装置及び電子線応用装置 2017年 8月 9日
特許 6178478 研磨方法 2017年 8月 9日
特許 6168988 バイパス管及びこれを備えた真空式液体収集システム 2017年 7月26日
特許 6169891 基板洗浄装置 2017年 7月26日
特許 6170302 流体供給装置 2017年 7月26日

178 件中 61-75 件を表示

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6185284 6185737 6186366 6180811 6180875 6181438 6181622 6182016 6182347 6178019 6178092 6178478 6168988 6169891 6170302

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