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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6218682 基板ホルダを備えためっき装置、およびめっき方法 2017年10月25日
特許 6220205 レベル出し装置、及びレベル出し装置を備えた基板処理装置 2017年10月25日
特許 6220423 検査装置 2017年10月25日
特許 6220578 増圧給水システム 2017年10月25日
特許 6215602 研磨装置および研磨状態監視方法 2017年10月18日
特許 6216193 ユニット制御盤、基板の受け渡しテスト方法、及び基板処理装置 2017年10月18日
特許 6216258 基板処理装置 2017年10月18日
特許 6216652 基板ホルダを備えためっき装置 2017年10月18日
特許 6216686 研磨装置 2017年10月18日
特許 6212253 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2017年10月11日
特許 6207200 キャンドモータおよびこれを備えた液中ポンプ 2017年10月 4日
特許 6208299 ポリッシング装置 2017年10月 4日
特許 6209088 研磨方法および装置 2017年10月 4日
特許 6203583 キャンドモータ、キャンの製造方法 2017年 9月27日
特許 6204832 めっき装置およびめっき方法 2017年 9月27日

178 件中 31-45 件を表示

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6218682 6220205 6220423 6220578 6215602 6216193 6216258 6216652 6216686 6212253 6207200 6208299 6209088 6203583 6204832

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