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株式会社荏原製作所

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  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6975650 検査用基板を用いる電流測定モジュールおよび検査用基板 2021年12月 1日
特許 6970007 ガス溶解液製造装置 2021年11月24日
特許 6970592 検査装置、検査システム、プログラムを記憶した記憶媒体 2021年11月24日
特許 6970601 半導体製造装置の設計方法 2021年11月24日
特許 6971664 基板研磨装置及び方法 2021年11月24日
特許 6971676 基板処理装置および基板処理方法 2021年11月24日
特許 6971915 めっき方法、めっき装置、及び限界電流密度を推定する方法 2021年11月24日
特許 6971922 基板ホルダ 2021年11月24日
特許 6966958 めっき液を撹拌するために用いるパドルおよびパドルを備えるめっき装置 2021年11月17日
特許 6967864 ポンプの制御システムおよび制御方法、ならびに、排水システム 2021年11月17日
特許 6964039 電磁石制御装置および電磁石システム 2021年11月10日
特許 6964531 ウィーンフィルタ、電子光学装置 2021年11月10日
特許 6964745 洗浄装置及び洗浄方法 2021年11月10日
特許 6956578 ブレークイン装置及びブレークインシステム 2021年11月 2日
特許 6959051 給水装置、および該給水装置に使用される樹脂プレート 2021年11月 2日

242 件中 16-30 件を表示

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6975650 6970007 6970592 6970601 6971664 6971676 6971915 6971922 6966958 6967864 6964039 6964531 6964745 6956578 6959051

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