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株式会社荏原製作所

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  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6927802 立軸ポンプ 2021年 9月 1日
特許 6927812 防食システムおよび防食方法 2021年 9月 1日
特許 6929072 研磨パッドの表面温度を調整するための装置および方法 2021年 9月 1日
特許 6929206 研磨装置 2021年 9月 1日
特許 6924993 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2021年 8月25日
特許 6920386 情報処理システム及び情報処理方法 2021年 8月18日
特許 6920849 基板処理方法および装置 2021年 8月18日
特許 6923342 研磨装置、及び、研磨方法 2021年 8月18日
特許 6916623 モータ取付用ブラケット、モータ取付構造、基板処理装置 2021年 8月11日
特許 6916679 ポンプユニット 2021年 8月11日
特許 6916680 給水装置、給水装置の搬送方法、及び給水装置の搬送用治具 2021年 8月11日
特許 6917291 非接触環状シール、遠心ポンプ、インペラリング、及びケーシングリング 2021年 8月11日
特許 6917775 ガス溶解液製造装置 2021年 8月11日
特許 6917790 ガス溶解液製造装置 2021年 8月11日
特許 6917966 弾性膜のストレッチ動作プログラム、弾性膜のストレッチ動作方法、および研磨装置 2021年 8月11日

242 件中 91-105 件を表示

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6927802 6927812 6929072 6929206 6924993 6920386 6920849 6923342 6916623 6916679 6916680 6917291 6917775 6917790 6917966

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