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株式会社荏原製作所

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  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6941464 基板洗浄装置及び基板処理装置 2021年 9月29日
特許 6941920 基板洗浄装置、基板洗浄方法、基板処理装置および基板乾燥装置 2021年 9月29日
特許 6942045 基板処理装置、めっき装置、及び基板処理方法 2021年 9月29日
特許 6942072 めっき装置 2021年 9月29日
特許 6936664 モータ及びポンプ装置 2021年 9月22日
特許 6936928 めっき装置 2021年 9月22日
特許 6937601 ポンプ装置、悪臭防止型排水設備、ポンプ 2021年 9月22日
特許 6937972 めっき装置及びめっき装置の気泡除去方法 2021年 9月22日
特許 6937974 めっき装置、およびめっき方法 2021年 9月22日
特許 6938165 電子ビームの照射エリア調整方法および同調整システム 2021年 9月22日
特許 6938346 弾性膜のヘッド本体への組み付け方法、組み付け治具、および組み付けシステム 2021年 9月22日
特許 6934918 基板洗浄装置 2021年 9月15日
特許 6935216 ルーツ型真空ポンプ 2021年 9月15日
特許 6935549 給水装置、および給水装置の運転方法 2021年 9月15日
特許 6936060 立軸ポンプ 2021年 9月15日

242 件中 61-75 件を表示

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6941464 6941920 6942045 6942072 6936664 6936928 6937601 6937972 6937974 6938165 6938346 6934918 6935216 6935549 6936060

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