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株式会社荏原製作所

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  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6895341 基板処理装置 2021年 6月30日
特許 6895342 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 2021年 6月30日
特許 6895565 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 2021年 6月30日
特許 6895872 基板を平坦化するための装置および方法 2021年 6月30日
特許 6896595 汚水用ポンプ 2021年 6月30日
特許 6896598 研磨パッドの温度を調整するためのパッド温調機構および研磨装置 2021年 6月30日
特許 6892291 給水装置 2021年 6月23日
特許 6892373 渦防止装置を備えたポンプ 2021年 6月23日
特許 6893957 バフ処理装置および基板処理装置 2021年 6月23日
特許 6888989 陸上ポンプ 2021年 6月18日
特許 6889094 ポンプ設備 2021年 6月18日
特許 6889656 画像生成装置および画像生成方法 2021年 6月18日
特許 6890528 パドルに取り付け可能な消波部材および消波部材を備えるめっき装置 2021年 6月18日
特許 6891060 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ 2021年 6月18日
特許 6887371 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 2021年 6月16日

242 件中 136-150 件を表示

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6895341 6895342 6895565 6895872 6896595 6896598 6892291 6892373 6893957 6888989 6889094 6889656 6890528 6891060 6887371

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