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株式会社荏原製作所

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 ■ 2022年 出願公開件数ランキング    第160位 226件 (下降2021年:第130位 278件)

 ■ 2022年 特許取得件数ランキング    第120位 284件 (下降2021年:第116位 241件)

(ランキング更新日:2026年10月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2022-152195 基板研磨装置および基板研磨方法 2022年10月12日
特開 2022-151996 真空ポンプ装置 2022年10月12日
特開 2022-151945 ポンプ設備、排水機場 2022年10月12日
特開 2022-149635 パッド温度調整装置、および研磨装置 2022年10月 7日
特開 2022-147767 ポンプ装置及び制御方法 2022年10月 6日
特開 2022-147558 電源選定システム、ポンプ装置及びプログラム 2022年10月 6日
特開 2022-146183 温度制御装置、該温度制御装置を備えたポンプ装置、および該温度制御装置を製造する方法 2022年10月 5日
特開 2022-146217 基板処理装置 2022年10月 5日
特開 2022-144848 AM装置 2022年10月 3日
特開 2022-143015 膜厚測定方法、ノッチ部の検出方法、および研磨装置 2022年10月 3日
特開 2022-140239 めっき装置及び気泡除去方法 2022年 9月26日
特開 2022-138845 センサを備えた測定ウェーハ、およびその使用方法 2022年 9月26日
特開 2022-137844 水運搬方法、水運搬装置及び水運搬システム 2022年 9月22日
特開 2022-136420 キャビテーションに起因する材料の壊食量を予測する方法、装置、およびプログラム 2022年 9月21日
特開 2022-135312 ワークピース処理装置およびワークピース処理方法 2022年 9月15日

227 件中 61-75 件を表示

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2022-152195 2022-151996 2022-151945 2022-149635 2022-147767 2022-147558 2022-146183 2022-146217 2022-144848 2022-143015 2022-140239 2022-138845 2022-137844 2022-136420 2022-135312

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