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株式会社荏原製作所

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　■　2022年特許取得件数ランキング　　　第116位　299件（2021年：第114位　242件）

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株式会社荏原製作所の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2022-151945	ポンプ設備、排水機場	2022年10月12日
特開 2022-151996	真空ポンプ装置	2022年10月12日
特開 2022-152195	基板研磨装置および基板研磨方法	2022年10月12日
特開 2022-149635	パッド温度調整装置、および研磨装置	2022年10月 7日
特開 2022-147558	電源選定システム、ポンプ装置及びプログラム	2022年10月 6日
特開 2022-147767	ポンプ装置及び制御方法	2022年10月 6日
特開 2022-146183	温度制御装置、該温度制御装置を備えたポンプ装置、および該温度制御装置を製造する方法	2022年10月 5日
特開 2022-146217	基板処理装置	2022年10月 5日
特開 2022-143015	膜厚測定方法、ノッチ部の検出方法、および研磨装置	2022年10月 3日
特開 2022-144848	ＡＭ装置	2022年10月 3日
特開 2022-138845	センサを備えた測定ウェーハ、およびその使用方法	2022年 9月26日
特開 2022-140239	めっき装置及び気泡除去方法	2022年 9月26日
特開 2022-137844	水運搬方法、水運搬装置及び水運搬システム	2022年 9月22日
特開 2022-136420	キャビテーションに起因する材料の壊食量を予測する方法、装置、およびプログラム	2022年 9月21日
特開 2022-134574	半導体製造装置	2022年 9月15日

227 件中 61-75 件を表示

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2022-151945 2022-151996 2022-152195 2022-149635 2022-147558 2022-147767 2022-146183 2022-146217 2022-143015 2022-144848 2022-138845 2022-140239 2022-137844 2022-136420 2022-134574

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