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株式会社荏原製作所

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  2025年 出願公開件数ランキング    第184位 184件 下降2024年:第173位 202件)

  2025年 特許取得件数ランキング    第213位 145件 下降2024年:第185位 185件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2025-187082 リテーナリングおよび基板保持装置 2025年12月25日
特開 2025-187236 薬液供給装置、洗浄システム及び液体供給方法 2025年12月25日
特開 2025-187402 作業支援システム、及び、作業支援方法 2025年12月25日
特開 2025-187550 ワークピースからの反射光のスペクトルを検査する方法、および研磨装置 2025年12月25日
特開 2025-187834 電動機 2025年12月25日
特開 2025-185348 回転速度算出装置、回転速度算出方法、基板洗浄装置および基板処理装置 2025年12月22日
特開 2025-182483 基板研磨装置、及び基板処理装置 2025年12月15日
特開 2025-174488 排水機場の主ポンプ装置の残運転時間表示装置及び主ポンプ装置の駆動システム 2025年11月28日
特開 2025-174500 ポンプシステム及びポンプシステムの制御方法 2025年11月28日
特開 2025-173134 振動検知器及び振動検知システム 2025年11月27日
特開 2025-173349 情報処理装置、情報処理方法、情報処理プログラム、及び、記録媒体 2025年11月27日
特開 2025-170830 基板研磨装置および膜厚算出方法 2025年11月20日
特開 2025-170972 パッド表面判定方法およびパッド表面判定システム 2025年11月20日
特開 2025-171626 基板洗浄方法、基板洗浄装置、基板洗浄プログラムおよび基板処理装置 2025年11月20日
特開 2025-171730 圧縮式冷凍機および冷凍システム 2025年11月20日

185 件中 1-15 件を表示

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2025-187082 2025-187236 2025-187402 2025-187550 2025-187834 2025-185348 2025-182483 2025-174488 2025-174500 2025-173134 2025-173349 2025-170830 2025-170972 2025-171626 2025-171730

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