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株式会社荏原製作所

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  2022年 特許取得件数ランキング    第116位 299件 下降2021年:第114位 242件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7096211 排水機場 2022年 7月 5日
特許 7093390 基板洗浄装置 2022年 6月29日
特許 7093442 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム 2022年 6月29日
特許 7093478 めっき装置及びめっき方法 2022年 6月29日
特許 7090834 めっき装置 2022年 6月27日
特許 7089133 めっき装置および基板洗浄方法 2022年 6月21日
特許 7086524 アルカリ土類金属イオン吸着剤及びその製造方法並びにアルカリ土類金属イオン含有液処理装置 2022年 6月20日
特許 7086835 研磨レシピ決定装置 2022年 6月20日
特許 7085880 有線ドローンシステム 2022年 6月17日
特許 7085968 基板ホルダ、めっき装置および基板のめっき方法 2022年 6月17日
特許 7085970 水素搬送装置、および水素搬送方法 2022年 6月17日
特許 7086317 めっき処理方法 2022年 6月17日
特許 7084811 研磨装置および研磨方法 2022年 6月15日
特許 7083695 バンプ高さ検査装置、基板処理装置、バンプ高さ検査方法、記憶媒体 2022年 6月13日
特許 7083722 研磨装置、及び、研磨方法 2022年 6月13日

300 件中 136-150 件を表示

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7096211 7093390 7093442 7093478 7090834 7089133 7086524 7086835 7085880 7085968 7085970 7086317 7084811 7083695 7083722

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