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株式会社荏原製作所

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  2022年 特許取得件数ランキング    第116位 299件 下降2021年:第114位 242件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7064979 流体の漏洩を確認する方法、および研磨装置 2022年 5月11日
特許 7063787 制御盤構造および給水装置 2022年 5月 9日
特許 7060384 ポンプ装置 2022年 4月26日
特許 7060385 ポンプ装置 2022年 4月26日
特許 7059040 ガス溶解液製造装置 2022年 4月25日
特許 7059117 研磨パッドの研磨面の温度を調整するための熱交換器、該熱交換器を備えた研磨装置、該熱交換器を用いた基板の研磨方法、および研磨パッドの研磨面の温度を調整するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2022年 4月25日
特許 7059172 基板ホルダのシールから液体を除去するための方法 2022年 4月25日
特許 7059424 めっき装置 2022年 4月25日
特許 7058209 基板ホルダに基板を保持させる方法 2022年 4月21日
特許 7057869 めっき装置 2022年 4月20日
特許 7057121 センサデバイス、制御装置及び固有アドレス設定方法 2022年 4月19日
特許 7057142 ポンプ装置 2022年 4月19日
特許 7057145 自吸ポンプ及びポンプユニット 2022年 4月19日
特許 7057167 真空用接続機構、電子光学装置 2022年 4月19日
特許 7057225 ポンプ装置の羽根車隙間調整方法 2022年 4月19日

300 件中 181-195 件を表示

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7064979 7063787 7060384 7060385 7059040 7059117 7059172 7059424 7058209 7057869 7057121 7057142 7057145 7057167 7057225

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