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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第160位 226件
(2021年:第150位 281件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第116位 299件
(2021年:第114位 242件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7020986 | 基板処理装置および基板保持装置 | 2022年 2月16日 | |
特許 7019305 | 渦電流センサのキャリブレーション方法 | 2022年 2月15日 | |
特許 7019494 | 洗浄液供給システム、基板処理装置および基板処理システム | 2022年 2月15日 | |
特許 7019513 | 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 | 2022年 2月15日 | |
特許 6999070 | めっきモジュールを調整する方法 | 2022年 2月10日 | |
特許 7018298 | 電動機 | 2022年 2月10日 | |
特許 7016995 | めっき装置及びめっき方法 | 2022年 2月 7日 | |
特許 7016998 | めっき装置 | 2022年 2月 7日 | |
特許 6999745 | 連結機構の回転中心位置決定方法、および連結機構の回転中心位置決定プログラム | 2022年 2月 4日 | |
特許 6990342 | 基板の接液方法、およびめっき装置 | 2022年 2月 3日 | |
特許 7014553 | めっき装置 | 2022年 2月 1日 | |
特許 7014635 | インバータユニットおよび電動機組立体 | 2022年 2月 1日 | |
特許 7014636 | 真空ポンプシステム、および真空ポンプシステムの制御方法 | 2022年 2月 1日 | |
特許 7013171 | シールシステム | 2022年 1月31日 | |
特許 7013255 | ライナーリング、および該ライナーリングを備えたポンプ、並びにライナーリングの交換方法 | 2022年 1月31日 |
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7020986 7019305 7019494 7019513 6999070 7018298 7016995 7016998 6999745 6990342 7014553 7014635 7014636 7013171 7013255
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