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株式会社荏原製作所

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  2022年 特許取得件数ランキング    第116位 299件 下降2021年:第114位 242件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7055720 基板回転装置、基板洗浄装置および基板処理装置ならびに基板回転装置の制御方法 2022年 4月18日
特許 7055737 複数の電動機組立体を備えた駆動装置 2022年 4月18日
特許 7054364 基板処理装置 2022年 4月13日
特許 7053170 水中ロボット制御システム及び水中ロボット制御方法 2022年 4月12日
特許 7053366 検査装置及び検査方法 2022年 4月12日
特許 7051542 横軸ポンプ装置 2022年 4月11日
特許 7051630 排気ガスの排出構造および庇ユニット 2022年 4月11日
特許 7050560 研磨装置及び基板処理装置 2022年 4月 8日
特許 7050577 ポンプ設備およびポンプ設備の維持管理方法 2022年 4月 8日
特許 7050875 基板洗浄装置 2022年 4月 8日
特許 7049984 研磨装置および静止リングの傾きを制御する方法 2022年 4月 7日
特許 7048397 有線ドローンシステム 2022年 4月 5日
特許 7046503 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム 2022年 4月 4日
特許 7046595 給水装置 2022年 4月 4日
特許 7046621 偏向感度算出方法および偏向感度算出システム 2022年 4月 4日

300 件中 196-210 件を表示

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7055720 7055737 7054364 7053170 7053366 7051542 7051630 7050560 7050577 7050875 7049984 7048397 7046503 7046595 7046621

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