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株式会社荏原製作所

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  2024年 特許取得件数ランキング    第179位 170件 下降2023年:第172位 201件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7558107 横軸ポンプの内部点検装置及び横軸ポンプの内部点検方法 2024年 9月30日
特許 7558455 めっき装置 2024年 9月30日
特許 7558461 めっき方法 2024年 9月30日
特許 7555870 真空ポンプ装置 2024年 9月25日
特許 7555876 サブファブエリア設置装置 2024年 9月25日
特許 7555308 めっき装置 2024年 9月24日
特許 7553917 研磨装置および研磨方法 2024年 9月19日
特許 7550593 情報処理システム、方法及びプログラム 2024年 9月13日
特許 7550618 ポンプシステム及び監視装置 2024年 9月13日
特許 7550720 ガス溶解液供給装置 2024年 9月13日
特許 7548761 基板処理装置 2024年 9月10日
特許 7547275 ワークピースの膜厚を推定するモデルを作成する方法、そのようなモデルを用いてワークピースの研磨中に膜厚を推定する方法、およびコンピュータにこれらの方法を実行させるためのプログラム 2024年 9月 9日
特許 7547525 半導体製造プロセスのための冷却システム、および半導体製造システム 2024年 9月 9日
特許 7545317 処理ガス吸入構造および排ガス処理装置 2024年 9月 4日
特許 7543078 バッファ室およびバッファ室を備えるAMシステム 2024年 9月 2日

172 件中 31-45 件を表示

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7558107 7558455 7558461 7555870 7555876 7555308 7553917 7550593 7550618 7550720 7548761 7547275 7547525 7545317 7543078

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