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株式会社荏原製作所

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  2025年 特許取得件数ランキング    第180位 45件 上昇2024年:第185位 185件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7628897 基板洗浄装置、基板処理装置、ブレークイン装置、基板に付着する微粒子数の推定方法、基板洗浄部材の汚染度合い判定方法およびブレークイン処理の判定方法 2025年 2月12日
特許 7626695 めっき装置およびめっき方法 2025年 2月 4日
特許 7624872 ポンプ機場系統配管の加振診断方法 2025年 1月31日
特許 7624873 ポンプ機場系統配管の加振診断装置 2025年 1月31日
特許 7625015 基板処理装置および基板処理方法 2025年 1月31日
特許 7621794 移載機、洗浄モジュール、および基板処理装置 2025年 1月27日
特許 7620286 電動機の駆動装置 2025年 1月23日
特許 7619897 基板支持機構、基板洗浄装置及び基板処理方法 2025年 1月22日
特許 7618158 テープ貼り付けシステム、テープ貼り付け方法、テープ剥がしシステム、およびテープ剥がし方法 2025年 1月21日
特許 7617814 脈動発生装置 2025年 1月20日
特許 7610978 ワークピース処理装置 2025年 1月 9日
特許 7610981 リテーナ、トップリング、および基板処理装置 2025年 1月 9日
特許 7608277 ポンプケーシング 2025年 1月 6日

45 件中 31-43 件を表示

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7628897 7626695 7624872 7624873 7625015 7621794 7620286 7619897 7618158 7617814 7610978 7610981 7608277

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