株式会社荏原製作所
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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第178位 185件
（
2023年：第197位 193件）
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第179位 170件
（
2023年：第172位 201件）
（ランキング更新日：2024年11月22日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7572795 | バリアメタルフリー金属配線構造の製造方法、およびバリアメタルフリー金属配線構造 | 2024年10月24日 | |
| 特許 7572863 | 複数のサブモジュールを有する基板処理モジュールを備えた半導体製造装置においてサブモジュールの最適使用数を決定する方法、および半導体製造装置 | 2024年10月24日 | |
| 特許 7572593 | めっき装置および基板処理方法 | 2024年10月23日 | |
| 特許 7572594 | 検出装置及び検出方法 | 2024年10月23日 | |
| 特許 7569684 | 研磨ヘッドおよび研磨装置 | 2024年10月18日 | |
| 特許 7569963 | めっき装置、及びめっき方法 | 2024年10月18日 | |
| 特許 7566559 | トップリングおよび基板処理装置 | 2024年10月15日 | |
| 特許 7565723 | 浮遊物回収装置、ポンプ機場 | 2024年10月11日 | |
| 特許 7564822 | 基板洗浄システムおよび基板洗浄方法 | 2024年10月 9日 | |
| 特許 7564982 | 基板ホルダ、めっき装置、基板ホルダに液体を導入する方法 | 2024年10月 9日 | |
| 特許 7564054 | 横軸ポンプ及び横軸ポンプの運転方法 | 2024年10月 8日 | |
| 特許 7564256 | 基板処理装置 | 2024年10月 8日 | |
| 特許 7561680 | 水中軸受構造、立軸ポンプ、ポンプシステム及び潤滑液の供給方法 | 2024年10月 4日 | |
| 特許 7561004 | すべり軸受、すべり軸受装置、及び当該すべり軸受装置を備えたポンプ | 2024年10月 3日 | |
| 特許 7560622 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法ならびに基板洗浄装置用のロールスポンジ | 2024年10月 2日 |
172 件中 16-30 件を表示
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7572795 7572863 7572593 7572594 7569684 7569963 7566559 7565723 7564822 7564982 7564054 7564256 7561680 7561004 7560622
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