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株式会社荏原製作所

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  2024年 特許取得件数ランキング    第179位 170件 下降2023年:第172位 201件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7543147 すべり軸受、すべり軸受装置、及びポンプ 2024年 9月 2日
特許 7542391 めっき方法 2024年 8月30日
特許 7542781 めっき方法 2024年 8月30日
特許 7542782 めっき装置 2024年 8月30日
特許 7541946 基板研磨装置および基板研磨方法 2024年 8月29日
特許 7539292 監視システム、監視装置及び機械監視方法 2024年 8月23日
特許 7538279 基板ホルダおよび当該基板ホルダを備えるめっき装置 2024年 8月21日
特許 7536552 ポンプ装置 2024年 8月20日
特許 7536601 研磨ヘッドおよび研磨装置 2024年 8月20日
特許 7535891 基板処理方法、および基板処理装置 2024年 8月19日
特許 7536039 基板洗浄装置、研磨装置、バフ処理装置、基板洗浄方法、基板処理装置、および機械学習器 2024年 8月19日
特許 7534084 基板保持装置および基板処理装置 2024年 8月14日
特許 7534470 軸受装置および真空ポンプ装置 2024年 8月14日
特許 7534471 軸受装置および真空ポンプ装置 2024年 8月14日
特許 7532315 渦電流センサの検出信号処理装置および検出信号処理方法 2024年 8月13日

172 件中 46-60 件を表示

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7543147 7542391 7542781 7542782 7541946 7539292 7538279 7536552 7536601 7535891 7536039 7534084 7534470 7534471 7532315

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