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株式会社荏原製作所

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  2024年 特許取得件数ランキング    第179位 170件 下降2023年:第172位 201件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7508327 光学式膜厚測定装置および研磨装置 2024年 7月 1日
特許 7507042 水素希釈装置および水素希釈方法 2024年 6月27日
特許 7504563 研磨されるウェーハの上面から液体を除去する方法 2024年 6月24日
特許 7504774 洗浄モジュールおよび基板処理装置 2024年 6月24日
特許 7504917 ポンプ及び回転式邪魔板 2024年 6月24日
特許 7503914 回転機械の防振装置、ポンプ設備、回転機械の防振装置の調整方法 2024年 6月21日
特許 7503418 膜厚測定装置、研磨装置及び膜厚測定方法 2024年 6月20日
特許 7502037 オゾン水製造装置およびオゾン水製造方法 2024年 6月18日
特許 7502088 洗浄部材取付機構及び基板洗浄装置 2024年 6月18日
特許 7502109 監視システム内の通信経路を確定する方法及び監視システム 2024年 6月18日
特許 7502217 真空排気方法および真空排気システム 2024年 6月18日
特許 7499603 水力機械 2024年 6月14日
特許 7499667 めっき装置の気泡除去方法及びめっき装置 2024年 6月14日
特許 7499034 配管用保温装置、および配管用加熱装置 2024年 6月13日
特許 7499070 ポンプ装置 2024年 6月13日

172 件中 76-90 件を表示

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7508327 7507042 7504563 7504774 7504917 7503914 7503418 7502037 7502088 7502109 7502217 7499603 7499667 7499034 7499070

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