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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第2569位 8件 上昇2022年:第3387位 6件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第1999位 9件 下降2022年:第1898位 10件)

(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7366861 基板昇降異常検出装置、基板処理システム、基板昇降異常検出方法、プログラム、学習モデル及び学習モデルの生成方法 2023年10月23日
特許 7355878 締結構造、及び締結構造を備えたプラズマ処理装置 2023年10月 3日
特許 7350643 誘導結合プラズマエッチング装置およびプラズマ生成機構 2023年 9月26日
特許 7312927 基板搬送機構の動作判定方法 2023年 7月21日
特許 7261335 プラズマ処理装置 2023年 4月19日
特許 7245274 保守対象装置の履歴管理システム、保守対象装置の履歴管理方法 2023年 3月23日
特許 7245378 基板処理装置 2023年 3月23日
特許 7203262 プラズマ処理装置 2023年 1月12日
特許 7200346 プログラム、情報処理方法、情報処理装置及びモデルの生成方法 2023年 1月 6日

9 件中 1-9 件を表示

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7366861 7355878 7350643 7312927 7261335 7245274 7245378 7203262 7200346

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