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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第2569位 8件
(
2022年:第3387位 6件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1999位 9件
(
2022年:第1898位 10件)
(ランキング更新日:2026年4月3日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7366861 | 基板昇降異常検出装置、基板処理システム、基板昇降異常検出方法、プログラム、学習モデル及び学習モデルの生成方法 | 2023年10月23日 | |
| 特許 7355878 | 締結構造、及び締結構造を備えたプラズマ処理装置 | 2023年10月 3日 | |
| 特許 7350643 | 誘導結合プラズマエッチング装置およびプラズマ生成機構 | 2023年 9月26日 | |
| 特許 7312927 | 基板搬送機構の動作判定方法 | 2023年 7月21日 | |
| 特許 7261335 | プラズマ処理装置 | 2023年 4月19日 | |
| 特許 7245274 | 保守対象装置の履歴管理システム、保守対象装置の履歴管理方法 | 2023年 3月23日 | |
| 特許 7245378 | 基板処理装置 | 2023年 3月23日 | |
| 特許 7203262 | プラズマ処理装置 | 2023年 1月12日 | |
| 特許 7200346 | プログラム、情報処理方法、情報処理装置及びモデルの生成方法 | 2023年 1月 6日 |
9 件中 1-9 件を表示
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7366861 7355878 7350643 7312927 7261335 7245274 7245378 7203262 7200346
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