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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第3088位 6件
(
2019年:第2176位 10件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第1550位 11件
(
2019年:第1271位 14件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6775432 | 真空搬送モジュール及び基板処理装置 | 2020年10月28日 | |
| 特許 6761910 | エッチング終点検出装置、基板処理システム、エッチング終点検出方法及び分類器 | 2020年 9月30日 | |
| 特許 6759483 | ワイドギャップ半導体基板、ワイドギャップ半導体基板の製造装置、およびワイドギャップ半導体基板の製造方法 | 2020年 9月23日 | |
| 特許 6753983 | プラズマ処理装置 | 2020年 9月 9日 | |
| 特許 6754026 | 基板昇降異常検出装置 | 2020年 9月 9日 | |
| 特許 6748793 | 保守支援システム、保守支援方法、プログラム及び加工画像の生成方法 | 2020年 9月 2日 | |
| 特許 6747960 | プラズマ処理装置 | 2020年 8月26日 | |
| 特許 6711941 | 歯車機構 | 2020年 6月17日 | |
| 特許 6696059 | 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム及び基板処理装置のプロセス判定方法 | 2020年 5月20日 | |
| 特許 6666599 | 基板処理装置 | 2020年 3月18日 | |
| 特許 6657149 | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | 2020年 3月 4日 |
11 件中 1-11 件を表示
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6775432 6761910 6759483 6753983 6754026 6748793 6747960 6711941 6696059 6666599 6657149
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