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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第3088位 6件 下降2019年:第2176位 10件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1550位 11件 下降2019年:第1271位 14件)

(ランキング更新日:2025年3月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6775432 真空搬送モジュール及び基板処理装置 2020年10月28日
特許 6761910 エッチング終点検出装置、基板処理システム、エッチング終点検出方法及び分類器 2020年 9月30日
特許 6759483 ワイドギャップ半導体基板、ワイドギャップ半導体基板の製造装置、およびワイドギャップ半導体基板の製造方法 2020年 9月23日
特許 6753983 プラズマ処理装置 2020年 9月 9日
特許 6754026 基板昇降異常検出装置 2020年 9月 9日
特許 6748793 保守支援システム、保守支援方法、プログラム及び加工画像の生成方法 2020年 9月 2日
特許 6747960 プラズマ処理装置 2020年 8月26日
特許 6711941 歯車機構 2020年 6月17日
特許 6696059 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム及び基板処理装置のプロセス判定方法 2020年 5月20日
特許 6666599 基板処理装置 2020年 3月18日
特許 6657149 炭化珪素半導体素子の製造方法 2020年 3月 4日

11 件中 1-11 件を表示

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6775432 6761910 6759483 6753983 6754026 6748793 6747960 6711941 6696059 6666599 6657149

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