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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第2064位 10件 下降2017年:第1503位 18件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第2192位 7件 下降2017年:第1304位 15件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6444794 半導体素子の製造方法及びその製造に用いられるプラズマエッチング装置 2018年12月26日
特許 6438511 エッチング保護膜形成用デポガス、プラズマエッチング方法、及びプラズマエッチング装置 2018年12月12日
特許 6427043 配線基板の製造方法 2018年11月21日
特許 6412223 プラズマ処理装置 2018年10月24日
特許 6387131 プラズマ加工方法及びこの方法を用いて製造された基板 2018年 9月 5日
特許 6279498 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2018年 2月14日
特許 6279933 炭化珪素半導体素子の製造方法 2018年 2月14日

7 件中 1-7 件を表示

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6444794 6438511 6427043 6412223 6387131 6279498 6279933

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