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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第1898位 10件 下降2021年:第1475位 12件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7176143 選択 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデル群、学習モデル群の生成方法及びプログラム 2022年11月21日
特許 7149354 選択 保守作業支援システム、保守作業支援方法、および、保守作業支援プログラム 2022年10月 6日
特許 7092959 選択 基板処理装置 2022年 6月28日
特許 7076892 選択 締結構造、及び締結構造を備えたプラズマ処理装置 2022年 5月30日
特許 7071908 選択 フォーカスリング及びこれを備えたプラズマ処理装置 2022年 5月19日
特許 7058798 選択 保守支援システム、保守支援方法及びプログラム 2022年 4月22日
特許 7048702 選択 プラズマ処理装置 2022年 4月 5日
特許 7041773 選択 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム 2022年 3月24日
特許 7041776 選択 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム 2022年 3月24日
特許 6997000 選択 シリコン窒化膜の製造方法及び製造装置 2022年 1月17日

10 件中 1-10 件を表示

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7176143 7149354 7092959 7076892 7071908 7058798 7048702 7041773 7041776 6997000

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