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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第3387位 6件
(2021年:第1420位 17件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第1898位 10件
(2021年:第1475位 12件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7176143
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基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデル群、学習モデル群の生成方法及びプログラム | 2022年11月21日 | |
特許 7149354
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保守作業支援システム、保守作業支援方法、および、保守作業支援プログラム | 2022年10月 6日 | |
特許 7092959
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基板処理装置 | 2022年 6月28日 | |
特許 7076892
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締結構造、及び締結構造を備えたプラズマ処理装置 | 2022年 5月30日 | |
特許 7071908
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フォーカスリング及びこれを備えたプラズマ処理装置 | 2022年 5月19日 | |
特許 7058798
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保守支援システム、保守支援方法及びプログラム | 2022年 4月22日 | |
特許 7048702
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プラズマ処理装置 | 2022年 4月 5日 | |
特許 7041773
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基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム | 2022年 3月24日 | |
特許 7041776
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基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム | 2022年 3月24日 | |
特許 6997000
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シリコン窒化膜の製造方法及び製造装置 | 2022年 1月17日 |
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4月14日(月) -
4月14日(月) -
4月14日(月) -
4月15日(火) -
4月15日(火) - 大阪 大阪市
4月15日(火) -
4月16日(水) - 東京 大田
4月16日(水) -
4月16日(水) -
4月16日(水) -
4月16日(水) -
4月17日(木) - 東京 大田
4月17日(木) -
4月17日(木) -
4月18日(金) -
4月18日(金) -
4月18日(金) - 北海道 千代田区
4月14日(月) -
4月21日(月) -
4月22日(火) -
4月22日(火) -
4月22日(火) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) - 東京 千代田区
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月23日(水) -
4月24日(木) - 東京 港区
4月24日(木) -
4月24日(木) -
4月25日(金) -
4月21日(月) -
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