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(ランキング更新日:2024年11月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7176143 | 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデル群、学習モデル群の生成方法及びプログラム | 2022年11月21日 | |
特許 7149354 | 保守作業支援システム、保守作業支援方法、および、保守作業支援プログラム | 2022年10月 6日 | |
特許 7092959 | 基板処理装置 | 2022年 6月28日 | |
特許 7076892 | 締結構造、及び締結構造を備えたプラズマ処理装置 | 2022年 5月30日 | |
特許 7071908 | フォーカスリング及びこれを備えたプラズマ処理装置 | 2022年 5月19日 | |
特許 7058798 | 保守支援システム、保守支援方法及びプログラム | 2022年 4月22日 | |
特許 7048702 | プラズマ処理装置 | 2022年 4月 5日 | |
特許 7041773 | 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム | 2022年 3月24日 | |
特許 7041776 | 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム、基板処理装置のプロセス判定方法、学習モデルの生成方法及びプログラム | 2022年 3月24日 | |
特許 6997000 | シリコン窒化膜の製造方法及び製造装置 | 2022年 1月17日 |
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7176143 7149354 7092959 7076892 7071908 7058798 7048702 7041773 7041776 6997000
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -