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東京応化工業株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第252位 116件 上昇2023年:第281位 118件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7561610 レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法 2024年10月 4日
特許 7560954 感光性組成物、パターン化された硬化膜の製造方法、及びパターン化された硬化膜 2024年10月 3日
特許 7561261 処理液、基板の処理方法、及び半導体基板の製造方法 2024年10月 3日
特許 7558375 検査方法、樹脂組成物の製造方法、及びレジスト組成物又は熱硬化性組成物の製造方法 2024年 9月30日
特許 7558440 レジスト組成物、レジストパターン形成方法、化合物、及び酸発生剤 2024年 9月30日
特許 7555759 エッチング方法、及び感光性樹脂組成物 2024年 9月25日
特許 7553245 ハードマスク形成用組成物及び電子部品の製造方法、及び樹脂 2024年 9月18日
特許 7553292 基板加熱装置および基板処理システム 2024年 9月18日
特許 7550674 レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法 2024年 9月13日
特許 7547189 表面処理剤、表面処理方法及び基板表面の領域選択的製膜方法 2024年 9月 9日
特許 7546353 レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 2024年 9月 6日
特許 7546395 中空構造体の製造方法、及び中空パッケージの製造方法 2024年 9月 6日
特許 7542343 レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 2024年 8月30日
特許 7542653 レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 2024年 8月30日
特許 7541306 相分離構造形成用樹脂組成物、相分離構造を含む構造体の製造方法、及びブロックコポリマー 2024年 8月28日

118 件中 16-30 件を表示

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7561610 7560954 7561261 7558375 7558440 7555759 7553245 7553292 7550674 7547189 7546353 7546395 7542343 7542653 7541306

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