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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4695857 半導体検査方法および半導体検査装置 2011年 6月 8日
特許 4695362 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2011年 6月 8日
特許 4694249 真空処理装置及び試料の真空処理方法 2011年 6月 8日
特許 4693581 基板検査装置及び基板検査方法 2011年 6月 1日
特許 4691453 欠陥表示方法およびその装置 2011年 6月 1日
特許 4690641 質量分析計 2011年 6月 1日
特許 4690251 電気泳動装置 2011年 6月 1日
特許 4693347 露光用シャッター、露光装置、露光方法、及び基板製造方法 2011年 6月 1日
特許 4691610 電子顕微鏡 2011年 6月 1日
特許 4691529 荷電粒子線装置、及び試料加工観察方法 2011年 6月 1日
特許 4690947 異常対処方法、異常対処装置および荷電粒子線装置 2011年 6月 1日
特許 4690837 試料載置電極の温度制御方法及び温度制御装置 2011年 6月 1日
特許 4686385 走査電子顕微鏡 2011年 5月25日
特許 4685599 回路パターンの検査装置 2011年 5月18日 共同出願
特許 4685637 モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡 2011年 5月18日

350 件中 196-210 件を表示

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4695857 4695362 4694249 4693581 4691453 4690641 4690251 4693347 4691610 4691529 4690947 4690837 4686385 4685599 4685637

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