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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2012年 出願公開件数ランキング    第54位 709件 下降2011年:第52位 689件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第71位 547件 上昇2011年:第98位 350件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4988274 パターンのずれ測定方法、及びパターン測定装置 2012年 8月 1日
特許 4988224 欠陥検査方法及びその装置 2012年 8月 1日
特許 4988223 欠陥検査装置およびその方法 2012年 8月 1日
特許 4991499 レチクル検査装置及びレチクル検査方法 2012年 8月 1日
特許 4991410 集束イオンビーム装置 2012年 8月 1日
特許 4991390 マイクロサンプル加熱用試料台 2012年 8月 1日
特許 4991144 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 2012年 8月 1日
特許 4988905 荷電粒子線装置 2012年 8月 1日
特許 4988662 荷電粒子線装置 2012年 8月 1日
特許 4988308 ガス増幅形検出器およびそれを用いた電子線応用装置 2012年 8月 1日
特許 4988216 収差補正装置を搭載した荷電粒子線装置 2012年 8月 1日
特許 4982523 蛍光分析方法,蛍光分析装置及び画像検出方法 2012年 7月25日
特許 4982266 分注処理装置 2012年 7月25日
特許 4982435 遠隔保守システム 2012年 7月25日
特許 4982161 ガス電界電離イオン源、及び走査荷電粒子顕微鏡 2012年 7月25日

547 件中 271-285 件を表示

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4988274 4988224 4988223 4991499 4991410 4991390 4991144 4988905 4988662 4988308 4988216 4982523 4982266 4982435 4982161

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