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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2012年 出願公開件数ランキング    第54位 709件 下降2011年:第52位 689件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第71位 547件 上昇2011年:第98位 350件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5101438 パーティクルモニタ及びそれを備えた基板処理装置 2012年12月19日
特許 5103219 パターン寸法計測方法 2012年12月19日
特許 5103049 ウエハ載置用電極 2012年12月19日
特許 5102580 荷電粒子線応用装置 2012年12月19日
特許 5103050 電子線応用装置 2012年12月19日
特許 5103033 荷電粒子線応用装置 2012年12月19日
特許 5103058 欠陥観察装置及び欠陥観察方法 2012年12月19日
特許 5103422 荷電粒子ビーム装置 2012年12月19日
特許 5102968 導電性針およびその製造方法 2012年12月19日
特許 5094282 ローカル帯電分布精密計測方法及び装置 2012年12月12日
特許 5094288 プラズマ処理装置 2012年12月12日
特許 5096835 ACF貼付け装置及びフラットパネルディスプレイの製造装置 2012年12月12日
特許 5095242 プラズマ処理方法 2012年12月12日
特許 5094033 パターンマッチング方法、及びパターンマッチングを行うためのコンピュータープログラム 2012年12月12日
特許 5097495 生体分子検出素子及び生体分子検出素子の製造方法 2012年12月12日

547 件中 16-30 件を表示

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5101438 5103219 5103049 5102580 5103050 5103033 5103058 5103422 5102968 5094282 5094288 5096835 5095242 5094033 5097495

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