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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2012年 出願公開件数ランキング    第54位 709件 下降2011年:第52位 689件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第71位 547件 上昇2011年:第98位 350件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4929296 荷電粒子線装置 2012年 5月 9日
特許 4929224 質量分析システム 2012年 5月 9日
特許 4929149 質量分析スペクトル分析方法 2012年 5月 9日
特許 4928862 欠陥検査方法及びその装置 2012年 5月 9日
特許 4926208 走査型電子顕微鏡装置、及び評価ポイント生成方法、並びにプログラム 2012年 5月 9日
特許 4926116 画像検査装置 2012年 5月 9日
特許 4925961 パターン測定装置 2012年 5月 9日
特許 4929042 ウエハエッジクリーナー 2012年 5月 9日
特許 4928987 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 2012年 5月 9日
特許 4928971 走査形電子顕微鏡 2012年 5月 9日
特許 4928893 プラズマエッチング方法。 2012年 5月 9日
特許 4928817 プラズマ処理装置 2012年 5月 9日
特許 4927506 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の撮像方法 2012年 5月 9日
特許 4922705 プラズマ処理方法および装置 2012年 4月25日
特許 4922899 尿素水注入装置 2012年 4月25日

547 件中 376-390 件を表示

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4929296 4929224 4929149 4928862 4926208 4926116 4925961 4929042 4928987 4928971 4928893 4928817 4927506 4922705 4922899

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