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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第59位 716件
(2012年:第54位 709件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第51位 717件
(2012年:第71位 547件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5155209 | ステージ装置 | 2013年 3月 6日 | |
特許 5154527 | 異物検査装置 | 2013年 2月27日 | |
特許 5154201 | 検体分注装置 | 2013年 2月27日 | |
特許 5153270 | ディスクの周面欠陥検出方法および検出装置 | 2013年 2月27日 | |
特許 5153348 | 荷電粒子ビーム軌道補正器及び荷電粒子ビーム装置 | 2013年 2月27日 | |
特許 5153212 | 荷電粒子線装置 | 2013年 2月27日 | |
特許 5150390 | 混合器及び液体分析装置 | 2013年 2月20日 | |
特許 5150370 | 質量分析システムおよび質量分析方法 | 2013年 2月20日 | |
特許 5150303 | 電子顕微鏡システム及びそれを用いたレジストパターンの膜厚減少量評価方法 | 2013年 2月20日 | |
特許 5147906 | 精度管理システム | 2013年 2月20日 | |
特許 5147567 | 電子分光器を有する透過型電子顕微鏡装置,試料ホルダ,試料台及びスペクトル像の取得方法 | 2013年 2月20日 | |
特許 5147448 | 半導体外観検査装置用画像処理装置及び半導体外観検査装置、並びに画像処理方法 | 2013年 2月20日 | |
特許 5147202 | 光学式欠陥検査装置 | 2013年 2月20日 | |
特許 5149251 | 熱圧着装置 | 2013年 2月20日 | |
特許 5150053 | プラズマ処理装置 | 2013年 2月20日 |
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5155209 5154527 5154201 5153270 5153348 5153212 5150390 5150370 5150303 5147906 5147567 5147448 5147202 5149251 5150053
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