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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5468655 研磨装置および研磨方法 2014年 4月 9日
特許 5464820 研磨装置 2014年 4月 9日
特許 5465494 耐水絶縁電線の接続部の止水処理構造 2014年 4月 9日
特許 5457229 消火ポンプ装置 2014年 4月 2日
特許 5457236 キャンド構造の回転電機 2014年 4月 2日
特許 5456640 海水淡水化システムおよびエネルギー交換チャンバー 2014年 4月 2日
特許 5453560 ポンプ施設 2014年 3月26日
特許 5448677 真空ポンプシステム、及びその運転方法 2014年 3月19日
特許 5437437 ウエハ受渡装置、ウエハ受渡装置のウエハ着座検出方法及びポリッシング装置 2014年 3月12日
特許 5437734 燃焼式排ガス処理装置 2014年 3月12日
特許 5436969 研磨終点検知方法、研磨終点検知装置、研磨方法、および研磨装置 2014年 3月 5日
特許 5431049 基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法 2014年 3月 5日
特許 5431558 ポンプ設備 2014年 3月 5日
特許 5431090 真空ポンプシステム、及びその運転方法 2014年 3月 5日
特許 5424784 ドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法 2014年 2月26日

116 件中 76-90 件を表示

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5468655 5464820 5465494 5457229 5457236 5456640 5453560 5448677 5437437 5437734 5436969 5431049 5431558 5431090 5424784

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