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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第520位 74件 (2012年:第867位 34件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第699位 46件 (2012年:第1187位 23件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-201118 | ターゲット物質精製装置、および、ターゲット供給装置 | 2013年10月 3日 | |
特開 2013-191699 | ターゲット供給装置 | 2013年 9月26日 | |
特開 2013-191577 | 極端紫外光源装置及びそのターゲット供給システム | 2013年 9月26日 | |
特開 2013-182864 | ターゲット供給装置 | 2013年 9月12日 | |
特開 2013-179247 | マスタオシレータシステムおよびレーザ装置 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-179029 | ターゲット供給装置、および、ターゲット供給方法 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-178462 | 波長変換器、波長変換装置、固体レーザ装置およびレーザシステム | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-179330 | 極端紫外光源装置 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-175434 | ターゲット生成条件判定装置及びターゲット生成システム | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-175402 | 極端紫外光生成装置及びターゲット物質供給方法 | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-175431 | 極端紫外光生成装置 | 2013年 9月 5日 | |
特開 2013-168221 | ターゲット供給装置 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-168473 | エキシマレーザおよびレーザ装置 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-165300 | 2ステージレーザ装置および2ステージレーザ装置に適用される調整方法 | 2013年 8月22日 | |
特開 2013-165256 | レーザビーム制御装置及び極端紫外光生成装置 | 2013年 8月22日 |
74 件中 16-30 件を表示
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2013-201118 2013-191699 2013-191577 2013-182864 2013-179247 2013-179029 2013-178462 2013-179330 2013-175434 2013-175402 2013-175431 2013-168221 2013-168473 2013-165300 2013-165256
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2月5日(水) -
2月5日(水) -
2月5日(水) -
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