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ギガフォトン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第1081位 25件 下降2013年:第520位 74件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第629位 51件 上昇2013年:第699位 46件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-86523 極端紫外光生成装置 2014年 5月12日
特開 2014-82243 放電励起式ガスレーザ装置 2014年 5月 8日
特開 2014-78394 極端紫外光生成システム 2014年 5月 1日
特開 2014-56891 ターゲット供給装置の制御方法、および、ターゲット供給装置 2014年 3月27日
特開 2014-49233 ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 2014年 3月17日
特開 2014-41828 極端紫外光生成装置 2014年 3月 6日
特開 2014-38868 ターゲット供給装置 2014年 2月27日
特開 2014-35948 ターゲット供給装置の制御方法、および、ターゲット供給装置 2014年 2月24日
特開 2014-32778 ターゲット供給装置、および、ターゲット供給方法 2014年 2月20日
特開 2014-10954 ターゲット供給装置、チャンバ、および、極端紫外光生成装置 2014年 1月20日

25 件中 16-25 件を表示

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2014-86523 2014-82243 2014-78394 2014-56891 2014-49233 2014-41828 2014-38868 2014-35948 2014-32778 2014-10954

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