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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第1081位 25件
(2013年:第520位 74件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第629位 51件
(2013年:第699位 46件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-86523 | 極端紫外光生成装置 | 2014年 5月12日 | |
特開 2014-82243 | 放電励起式ガスレーザ装置 | 2014年 5月 8日 | |
特開 2014-78394 | 極端紫外光生成システム | 2014年 5月 1日 | |
特開 2014-56891 | ターゲット供給装置の制御方法、および、ターゲット供給装置 | 2014年 3月27日 | |
特開 2014-49233 | ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 | 2014年 3月17日 | |
特開 2014-41828 | 極端紫外光生成装置 | 2014年 3月 6日 | |
特開 2014-38868 | ターゲット供給装置 | 2014年 2月27日 | |
特開 2014-35948 | ターゲット供給装置の制御方法、および、ターゲット供給装置 | 2014年 2月24日 | |
特開 2014-32778 | ターゲット供給装置、および、ターゲット供給方法 | 2014年 2月20日 | |
特開 2014-10954 | ターゲット供給装置、チャンバ、および、極端紫外光生成装置 | 2014年 1月20日 |
25 件中 16-25 件を表示
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2014-86523 2014-82243 2014-78394 2014-56891 2014-49233 2014-41828 2014-38868 2014-35948 2014-32778 2014-10954
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2月26日(水) -
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2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
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2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
3月4日(火) -
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3月5日(水) -
3月5日(水) -
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