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ギガフォトン株式会社
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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第1081位 25件
（
2013年：第520位 74件）
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第629位 51件
（
2013年：第699位 46件）
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ギガフォトン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5641958 | チャンバ装置およびそれを備える極端紫外光生成装置 | 2014年12月17日 | |
| 特許 5630773 | ガス放電チャンバ | 2014年11月26日 | |
| 特許 5612579 | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5611913 | レーザ装置用エネルギー測定装置及びそれに用いられる光拡散板のエージング方法 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5607383 | ガスレーザ装置用温度調節装置 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5603135 | チャンバ装置におけるターゲット軌道を計測及び制御する装置及び方法 | 2014年10月 8日 | |
| 特許 5599992 | イオン化レーザ装置および極端紫外光光源装置 | 2014年10月 1日 | |
| 特許 5588032 | 極端紫外光源装置 | 2014年 9月10日 | |
| 特許 5587578 | 極端紫外光源装置およびパルスレーザ装置 | 2014年 9月10日 | |
| 特許 5579894 | ガス放電チャンバ | 2014年 8月27日 | |
| 特許 5580032 | 極端紫外光光源装置 | 2014年 8月27日 | |
| 特許 5580358 | 露光用放電励起レーザ装置 | 2014年 8月27日 | |
| 特許 5576079 | 極端紫外光源装置 | 2014年 8月20日 | |
| 特許 5572434 | ミラー装置 | 2014年 8月13日 | |
| 特許 5567640 | 極端紫外光源装置 | 2014年 8月 6日 |
51 件中 1-15 件を表示
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5641958 5630773 5612579 5611913 5607383 5603135 5599992 5588032 5587578 5579894 5580032 5580358 5576079 5572434 5567640
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