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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2013-152845	ターゲット供給装置	2013年 8月 8日
再表 2011-148895	固体レーザ装置およびレーザシステム	2013年 7月25日
特開 2013-145863	２光束干渉装置および２光束干渉露光システム	2013年 7月25日
特開 2013-145105	冷却水温度制御装置	2013年 7月25日
特開 2013-140771	ターゲット供給装置	2013年 7月18日
特開 2013-141029	レーザ装置の故障診断システム	2013年 7月18日
特開 2013-135075	固体レーザ増幅器、レーザ光増幅器、固体レーザ装置、およびレーザ装置	2013年 7月 8日
特開 2013-135033	極端紫外光生成装置	2013年 7月 8日
特開 2013-131724	レーザ装置	2013年 7月 4日
特開 2013-131483	ＥＵＶ光生成装置、ターゲット回収装置、および、ターゲット回収方法	2013年 7月 4日
特開 2013-128156	ガス放電チャンバ	2013年 6月27日
特開 2013-127975	極端紫外光源装置	2013年 6月27日
特開 2013-128155	ガス放電チャンバ	2013年 6月27日
再表 2011-102486	露光装置用レーザ装置	2013年 6月17日
特開 2013-115176	ホルダ装置、チャンバ装置、および、極端紫外光生成装置	2013年 6月10日

74 件中 31-45 件を表示

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2013-152845 2011-148895 2013-145863 2013-145105 2013-140771 2013-141029 2013-135075 2013-135033 2013-131724 2013-131483 2013-128156 2013-127975 2013-128155 2011-102486 2013-115176

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