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ギガフォトン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第520位 74件 上昇2012年:第867位 34件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第699位 46件 上昇2012年:第1187位 23件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-62484 レーザ装置 2013年 4月 4日
特開 2013-51349 ターゲット供給装置 2013年 3月14日
特開 2013-48202 レーザシステム 2013年 3月 7日
特開 2013-41051 波長変換装置、固体レーザ装置およびレーザシステム 2013年 2月28日
特開 2013-37787 ターゲット供給装置、そのノズルのクリーニング機構、および、そのノズルのクリーニング方法 2013年 2月21日
特開 2013-33932 波長検出器、波長較正システム 2013年 2月14日
特開 2013-33757 極端紫外光源装置 2013年 2月14日
特開 2013-30546 チャンバ装置、極端紫外光生成装置および極端紫外光生成装置の制御方法 2013年 2月 7日
特開 2013-20926 極端紫外光生成装置 2013年 1月31日
特開 2013-21293 レーザ装置、レーザシステムおよび極端紫外光生成装置 2013年 1月31日
特開 2013-12465 極端紫外光生成装置および極端紫外光生成方法 2013年 1月17日
再表 2011-13779 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体 2013年 1月10日
特開 2013-4369 極端紫外光生成装置 2013年 1月 7日
特開 2013-4258 極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法 2013年 1月 7日

74 件中 61-74 件を表示

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2013-62484 2013-51349 2013-48202 2013-41051 2013-37787 2013-33932 2013-33757 2013-30546 2013-20926 2013-21293 2013-12465 2011-13779 2013-4369 2013-4258

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