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株式会社日立ハイテクサイエンス
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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1169位 25件
（
2012年： 0件）
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1072位 26件
（2012年： 0件）
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株式会社日立ハイテクサイエンスの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5246995 | 集束荷電粒子ビーム装置 | 2013年 7月24日 | |
| 特許 5247761 | ＦＩＢ−ＳＥＭ複合装置 | 2013年 7月24日 | |
| 特許 5246981 | 試料加工方法及びイオンビーム装置 | 2013年 7月24日 | |
| 特許 5235447 | Ｘ線分析装置及びＸ線分析方法 | 2013年 7月10日 | |
| 特許 5226837 | 走査型プローブ顕微鏡用の光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法 | 2013年 7月 3日 | |
| 特許 5226481 | 自己変位検出型カンチレバーおよび走査型プローブ顕微鏡 | 2013年 7月 3日 | |
| 特許 5187810 | 膜厚測定方法及び試料作製方法、並びに、膜厚測定装置及び試料作製装置 | 2013年 4月24日 | |
| 特許 5187839 | カンチレバーシステム及び走査型プローブ顕微鏡 | 2013年 4月24日 | |
| 特許 5181389 | Ｘ線分析装置 | 2013年 4月10日 | |
| 特許 5181105 | 集積回路の修正配線形成方法 | 2013年 4月10日 | |
| 特許 5175008 | ミクロ断面加工方法 | 2013年 4月 3日 |
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5246995 5247761 5246981 5235447 5226837 5226481 5187810 5187839 5181389 5181105 5175008
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