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株式会社日立ハイテクサイエンス

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5378830 集束イオンビーム装置、及びそれを用いた試料の加工方法 2013年12月25日
特許 5373298 EUVLマスクの加工方法 2013年12月18日
特許 5362236 試料加工・観察装置及び断面加工・観察方法 2013年12月11日
特許 5340119 走査型プローブ顕微鏡における探針とサンプルの近接方法 2013年11月13日
特許 5339851 変位計付圧電アクチュエータおよび圧電素子ならびにそれを用いた位置決め装置 2013年11月13日
特許 5328264 元素マッピング装置及び元素マッピング画像表示方法 2013年10月30日
特許 5323405 TEM試料作製方法、及びTEM試料 2013年10月23日
特許 5307504 X線分析装置及びX線分析方法 2013年10月 2日
特許 5305650 走査型プローブ顕微鏡用変位検出機構およびこれを用いた走査型プローブ顕微鏡 2013年10月 2日
特許 5307503 X線分析装置及びX線分析方法 2013年10月 2日
特許 5296413 複合荷電粒子ビーム装置を用いた断面画像取得方法および複合荷電粒子ビーム装置 2013年 9月25日
特許 5295066 誘電率の測定方法及び走査型非線形誘電率顕微鏡 2013年 9月18日
特許 5295047 走査型プローブ顕微鏡による誘電率の測定方法 2013年 9月18日
特許 5283535 示差走査熱量計 2013年 9月 4日
特許 5269521 X線分析装置及びX線分析方法 2013年 8月21日

26 件中 1-15 件を表示

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5378830 5373298 5362236 5340119 5339851 5328264 5323405 5307504 5305650 5307503 5296413 5295066 5295047 5283535 5269521

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