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キヤノンアネルバ株式会社

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キヤノンアネルバ株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5603333	基板処理装置	2014年10月 8日
特許 5603219	薄膜形成装置	2014年10月 8日
特許 5602005	真空処理装置、及び、それを用いた処理方法	2014年10月 8日
特許 5599476	スパッタリング装置	2014年10月 1日
特許 5587822	スパッタリング装置、スパッタリング方法及び電子デバイスの製造方法	2014年 9月10日
特許 5582895	基板ホルダーストッカ装置及び基板処理装置並びに該基板ホルダーストッカ装置を用いた基板ホルダー移動方法	2014年 9月 3日
特許 5584409	スパッタリング装置およびその制御方法	2014年 9月 3日
特許 5579038	冷陰極電離真空計、該冷陰極電離真空計を備えた真空処理装置、該冷陰極電離真空計に用いる放電開始補助電極、該冷陰極電離真空計を用いた圧力測定方法	2014年 8月27日
特許 5580004	真空容器、および真空処理装置	2014年 8月27日
特許 5576507	エピタキシャル膜形成方法、スパッタリング装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、および照明装置	2014年 8月20日
特許 5570951	反応性スパッタリング方法及び反応性スパッタリング装置	2014年 8月13日
特許 5570296	基板回転装置及び真空処理装置並びに成膜方法	2014年 8月13日
特許 5570359	ロータリージョイント、及びスパッタリング装置	2014年 8月13日
特許 5564139	基板保持装置およびプラズマ処理装置	2014年 7月30日
特許 5563377	スパッタリング装置	2014年 7月30日

88 件中 16-30 件を表示

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5603333 5603219 5602005 5599476 5587822 5582895 5584409 5579038 5580004 5576507 5570951 5570296 5570359 5564139 5563377

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