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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第724位 46件
(2012年:第347位 119件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第654位 50件
(2012年:第926位 32件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5164950 | CVD装置 | 2013年 3月21日 | |
特許 5166531 | 磁場発生装置及びプラズマ処理装置 | 2013年 3月21日 | |
特許 5149285 | スパッタリングにより成膜する磁気デバイスの製造装置及び磁気デバイスの製造方法 | 2013年 2月20日 | |
特許 5150575 | 基板ホルダー保持装置及び基板ホルダー収納チャンバ | 2013年 2月20日 | |
特許 5139498 | 磁気抵抗効果素子の製造方法 | 2013年 2月 6日 |
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5164950 5166531 5149285 5150575 5139498
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