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キヤノンアネルバ株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第870位 33件 下降2013年:第724位 46件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第412位 88件 上昇2013年:第654位 50件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5497765 加熱処理装置および半導体デバイスの製造方法 2014年 5月21日
特許 5497572 スパッタリング装置及び真空処理装置 2014年 5月21日
特許 5487327 基板熱処理装置 2014年 5月 7日
特許 5487302 プラズマ処理装置 2014年 5月 7日
特許 5480290 スパッタリング装置、及び電子デバイスの製造方法 2014年 4月23日
特許 5473591 搬送振動監視装置及び真空処理装置並びに搬送振動監視方法 2014年 4月16日
特許 5469678 基板加熱処理装置の温度制御方法、半導体デバイスの製造方法、基板加熱処理装置の温度制御プログラム及び記録媒体 2014年 4月16日
特許 5467894 基板処理装置及び表示用素子の製造方法 2014年 4月 9日
特許 5468895 加熱装置及び基板処理装置 2014年 4月 9日
特許 5463361 平均自由行程を測定する装置および真空容器 2014年 4月 9日
特許 5463423 チャージトラップ型記憶装置及びその製造方法 2014年 4月 9日
特許 5468784 基板加熱装置、加熱処理方法および半導体デバイスを製造する方法 2014年 4月 9日
特許 5457216 基板支持装置及び基板搬送装置、電気デバイスの製造方法 2014年 4月 2日
特許 5458177 半導体装置の製造方法および装置 2014年 4月 2日
特許 5461264 マグネトロンスパッタリング装置、及び、スパッタリング方法 2014年 4月 2日

88 件中 46-60 件を表示

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5497765 5497572 5487327 5487302 5480290 5473591 5469678 5467894 5468895 5463361 5463423 5468784 5457216 5458177 5461264

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