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キヤノンアネルバ株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第870位 33件 下降2013年:第724位 46件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第412位 88件 上昇2013年:第654位 50件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5462364 電力導入装置及び電力導入装置を用いた真空処理装置 2014年 4月 2日
特許 5457216 基板支持装置及び基板搬送装置、電気デバイスの製造方法 2014年 4月 2日
特許 5451374 検査システム、検査装置、および検査方法 2014年 3月26日
特許 5451360 質量分析装置及び質量分析方法 2014年 3月26日
特許 5451895 基板処理装置 2014年 3月26日
特許 5443590 スパッタリング装置及び電子デバイスの製造方法 2014年 3月19日
特許 5444460 エピタキシャル膜形成方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 2014年 3月19日
特許 5431901 インライン真空処理装置、インライン真空処理装置の制御方法、情報記録媒体の製造方法 2014年 3月 5日
特許 5429802 真空アーク蒸着装置 2014年 2月26日
特許 5425616 スパッタ成膜装置および膜の製造方法 2014年 2月26日
特許 5425547 基板処理装置、及び磁気記録媒体の製造方法 2014年 2月26日
特許 5429796 マスク位置合わせ機構及びマスク位置合わせ方法並びに真空処理装置 2014年 2月26日
特許 5415781 真空処理装置および真空処理装置の制御方法 2014年 2月12日
特許 5415979 スパッタリング装置及び二重回転シャッタユニット並びにスパッタリング方法 2014年 2月12日
特許 5406067 トレイ及び真空処理装置 2014年 2月 5日

88 件中 61-75 件を表示

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5462364 5457216 5451374 5451360 5451895 5443590 5444460 5431901 5429802 5425616 5425547 5429796 5415781 5415979 5406067

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