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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1216位 24件 (2012年:第1400位 18件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1187位 22件 (2012年:第1784位 13件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5211328 | イオン注入方法およびイオン注入装置 | 2013年 6月12日 | |
特許 5195789 | イオンビーム照射装置 | 2013年 5月15日 | |
特許 5194975 | イオン注入装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5181824 | イオンビーム照射装置及びイオンビーム測定方法 | 2013年 4月10日 | |
特許 5176903 | イオン注入装置 | 2013年 4月 3日 | |
特許 5141732 | イオン源電極のクリーニング方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5119396 | 熱陰極およびそれを備えるイオン源 | 2013年 1月16日 |
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5211328 5195789 5194975 5181824 5176903 5141732 5119396
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