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日新イオン機器株式会社

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 ■ 2013年 出願公開件数ランキング     件 (変わらず2012年: 件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-256395 ガラス表層部の微細曲面加工方法 2013年12月26日 共同出願
特開 2013-251240 イオンビーム照射装置 2013年12月12日
特開 2013-243098 フィラメント交換器及びフィラメント交換構造 2013年12月 5日
特開 2013-214512 リボン状イオンビームのためのイオンビーム偏向マグネットおよびそれを備えるイオンビーム照射装置 2013年10月17日
特開 2013-187102 イオン注入装置 2013年 9月19日
特開 2013-175670 基板搬送装置及び当該基板搬送装置を用いた半導体製造装置 2013年 9月 5日
特開 2013-131367 イオン注入装置 2013年 7月 4日
特開 2013-115209 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法 2013年 6月10日 共同出願
特開 2013-101898 エネルギー線照射装置及びワーク搬送機構 2013年 5月23日
特開 2013-98143 イオン源電極のクリーニング装置 2013年 5月20日
特開 2013-98003 イオンビーム引出し用電極およびこれを備えたイオン源 2013年 5月20日
特開 2013-97958 イオン源 2013年 5月20日
特開 2013-89427 エネルギー線照射装置及びワーク搬送機構 2013年 5月13日
特開 2013-69577 プラズマ閉じ込め容器およびこれを備えたイオン源 2013年 4月18日
特開 2013-69511 スリット電極及びこれを備えた荷電粒子ビーム発生装置 2013年 4月18日

24 件中 1-15 件を表示

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2013-256395 2013-251240 2013-243098 2013-214512 2013-187102 2013-175670 2013-131367 2013-115209 2013-101898 2013-98143 2013-98003 2013-97958 2013-89427 2013-69577 2013-69511

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