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■ 2013年 出願公開件数ランキング 件
(
2012年: 件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 件
(
2012年: 件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2013-256395 | ガラス表層部の微細曲面加工方法 | 2013年12月26日 | 共同出願 |
| 特開 2013-251240 | イオンビーム照射装置 | 2013年12月12日 | |
| 特開 2013-243098 | フィラメント交換器及びフィラメント交換構造 | 2013年12月 5日 | |
| 特開 2013-214512 | リボン状イオンビームのためのイオンビーム偏向マグネットおよびそれを備えるイオンビーム照射装置 | 2013年10月17日 | |
| 特開 2013-187102 | イオン注入装置 | 2013年 9月19日 | |
| 特開 2013-175670 | 基板搬送装置及び当該基板搬送装置を用いた半導体製造装置 | 2013年 9月 5日 | |
| 特開 2013-131367 | イオン注入装置 | 2013年 7月 4日 | |
| 特開 2013-115209 | 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法 | 2013年 6月10日 | 共同出願 |
| 特開 2013-101898 | エネルギー線照射装置及びワーク搬送機構 | 2013年 5月23日 | |
| 特開 2013-98143 | イオン源電極のクリーニング装置 | 2013年 5月20日 | |
| 特開 2013-98003 | イオンビーム引出し用電極およびこれを備えたイオン源 | 2013年 5月20日 | |
| 特開 2013-97958 | イオン源 | 2013年 5月20日 | |
| 特開 2013-89427 | エネルギー線照射装置及びワーク搬送機構 | 2013年 5月13日 | |
| 特開 2013-69577 | プラズマ閉じ込め容器およびこれを備えたイオン源 | 2013年 4月18日 | |
| 特開 2013-69511 | スリット電極及びこれを備えた荷電粒子ビーム発生装置 | 2013年 4月18日 |
24 件中 1-15 件を表示
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2013-256395 2013-251240 2013-243098 2013-214512 2013-187102 2013-175670 2013-131367 2013-115209 2013-101898 2013-98143 2013-98003 2013-97958 2013-89427 2013-69577 2013-69511
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