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東京エレクトロン株式会社

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　■　2011年特許取得件数ランキング　　　第41位　739件（2010年：第39位　580件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2011-187570	超臨界処理装置及び超臨界処理方法	2011年 9月22日	共同出願
特開 2011-185394	溝用シール材	2011年 9月22日
特開 2011-187490	液処理装置、液処理方法及び記憶媒体	2011年 9月22日
特開 2011-187664	センサ故障検知方法、センサ故障検知装置、及び、プログラム	2011年 9月22日
特開 2011-187928	基板処理方法	2011年 9月22日
特開 2011-187752	加熱装置及びアニール装置	2011年 9月22日
特開 2011-187934	成膜方法、成膜装置、および成膜装置の使用方法	2011年 9月22日
特開 2011-187975	塗布、現像装置	2011年 9月22日
特開 2011-187758	温度制御システム、温度制御方法、プラズマ処理装置及びコンピュータ記憶媒体	2011年 9月22日
特開 2011-187576	割れ検出装置、処理装置及び割れ検出方法	2011年 9月22日
特開 2011-187583	半導体装置の製造方法	2011年 9月22日
特開 2011-187503	自動整合方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体、自動整合装置及びプラズマ処理装置	2011年 9月22日
特開 2011-187806	基板処理装置、基板処理方法、およびこの基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体	2011年 9月22日
特開 2011-187910	搬送機構	2011年 9月22日
特開 2011-187799	表面平坦化方法	2011年 9月22日

621 件中 136-150 件を表示

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2011-187570 2011-185394 2011-187490 2011-187664 2011-187928 2011-187752 2011-187934 2011-187975 2011-187758 2011-187576 2011-187583 2011-187503 2011-187806 2011-187910 2011-187799

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